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成都藤田科技有限公司
中級(jí)會(huì)員·1年日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀
- 發(fā)布時(shí)間2025-02-24
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視頻簡(jiǎn)介
日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀-成都藤田科技提供● 非接觸,、非破壞式，量測(cè)頭可自由集成在客戶(hù)系統(tǒng)內(nèi)● 初學(xué)者也能輕松解析建模的初學(xué)者解析模式● 高精度,、高再現(xiàn)性量測(cè)紫外到近紅外波段內(nèi)的反射率,，可分析多層薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)（n：折射率、k：消光系數(shù)）● 單點(diǎn)對(duì)焦加量測(cè)在1秒內(nèi)完成● 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外 ~ 近紅外）● 獨(dú)立測(cè)試頭對(duì)應(yīng)各種inline定制化需求●...
視頻簡(jiǎn)介
日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀-成都藤田科技提供
● 非接觸,、非破壞式,，量測(cè)頭可自由集成在客戶(hù)系統(tǒng)內(nèi)
● 初學(xué)者也能輕松解析建模的初學(xué)者解析模式
● 高精度、高再現(xiàn)性量測(cè)紫外到近紅外波段內(nèi)的反射率,，可分析多層薄膜厚度,、光學(xué)常數(shù)（n：折射率、k：消光系數(shù)）
● 單點(diǎn)對(duì)焦加量測(cè)在1秒內(nèi)完成
● 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外 ~ 近紅外）
● 獨(dú)立測(cè)試頭對(duì)應(yīng)各種inline定制化需求
● 最小對(duì)應(yīng)spot約3μm
● 可針對(duì)超薄膜解析nk
量測(cè)項(xiàng)目
● 反射率分析
● 多層膜解析（50層）
● 光學(xué)常數(shù)（n：折射率,、k：消光系數(shù)）
膜或者玻璃等透明基板樣品,，受基板內(nèi)部反射的影響，無(wú)法正確測(cè)量,。OPTM系列使用物鏡,，可以物理去除內(nèi)部反射，即使是透明基板也可以實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量,。此外,，對(duì)具有光學(xué)異向性的膜或SiC等樣品，也可不受其影響,，單獨(dú)測(cè)量上面的膜,。
應(yīng)用范圍
● 半導(dǎo)體、復(fù)合半導(dǎo)體：硅半導(dǎo)體,、碳化硅半導(dǎo)體,、砷化鎵半導(dǎo)體、光刻膠,、介電常數(shù)材料
● FPD：LCD,、TFT、OLED（有機(jī)EL）
● 資料儲(chǔ)存：DVD,、磁頭薄膜、磁性材料
● 光學(xué)材料：濾光片,、抗反射膜
● 平面顯示器：液晶顯示器,、薄膜晶體管、OLED
● 薄膜：AR膜,、HC膜,、PET膜等
● 其它：建筑用材料、膠水,、DLC等
規(guī)格式樣
（自動(dòng)XY平臺(tái)型）
OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
|---|---|---|---|
波長(zhǎng)范圍 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范圍 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
測(cè)定時(shí)間 | 1秒 / 1點(diǎn)以?xún)?nèi) | ||
光徑大小 | 10μm (最小約3μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源規(guī)格 | 氘燈 鹵素?zé)?/p> | 鹵素?zé)?/p> | |
尺寸 | 556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自動(dòng)XY平臺(tái)型的主體部分) | ||
重量 | 66kg（自動(dòng)XY平臺(tái)型的主體部分） | ||
量測(cè)案例
半導(dǎo)體行業(yè) - SiO2,、SiN膜厚測(cè)定案例
FPD行業(yè) - 彩色光阻膜厚測(cè)定
FPD行業(yè) – 用傾斜模式解析ITO構(gòu)造
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